【电竞菠菜人首页】国产的SP光刻机到底牛在哪儿?

电竞菠菜人首页

电竞菠菜人首页|近日,“中国成功研制出全球首款分辨率最低的紫外分辨光刻设备”的新闻被屏蔽。有人欢喜,有人不屑。那么这个装备的实力如何,牛在哪里?先问你两个最关心的问题:1。我们能把芯片完全本地化吗?问:敢不敢继续。

2.你知不知道这个装备好骄傲,还是只是吹牛?问:显然很骄傲。很多人只关注新闻里的22nm指标,但大家要关注“365nm的光源,单次曝光平均线宽22nm”。你注意到我涂掉的关键词了吗?22nm指数虽然有意思,但是行业已经做了。骄傲是什么?所以关键是要用365nm的光源进行22nm的单次曝光。

如果你不知道点光学,那就说说它的含义:它超越了传统的散射无穷。所以在我看来,这台机器的第二个唯一价值就是测试表面等离子(SP)光刻的可行性。

这个SP光刻机和ASML光刻机相比怎么样?推荐一个不合理的例子,貌似早期的枪都是和最骄傲的弓箭比的。早期的火器如火铳,无论是射击精度还是射击距离都比不上傲人的弓箭,但现在的狙击步枪早就把弓箭追了十万八千里,这是原则性的胜利。

要理解这种“原则胜利”是什么,首先要总结以ASML为代表的传统光刻机是如何制造出来的。以上是一个非常简单的ASML光刻机示意图,里面全是简单的监控设备。核心原理是通过物镜系统在掩模板上展开和收缩图案。

电竞菠菜人电竞

说到光学过程,就不得不考虑光的散射是无限的。一个无限小的点,即使充满了所有的几何缺陷,也不会因为散射而在光学后变成密集的光斑,称为“艾里斑”。所以实际光学系统的光学分辨率就是两个艾里斑只需要分开的距离。

因此,由于散射效应,光学分辨率不会受到限制,最终分辨率会与波长、数值孔径等参数不同,波长越小,数值孔径越大,分辨率越高。因此,ASML近年来的主要研究方向是使用更短的波长(近紫外-浅紫外-极紫外)和减小数值孔径(更简单的物镜和液体龙头)。

但更难走的更远,系统设计、加工装配、误差检测等很多方面都明确提出了更严格的剔除,成本也更高。那么表面等离子体光刻是如何成为现实的呢?表面等离子体激元是指一种类似的定域在材料表面的电磁波,随着与材料表面距离的减小而快速波动。一般指出波长以上的区域不存在。

电竞菠菜人电竞

更神秘的是,表面等离子体波虽然是由其他电磁波诱发的,但波长不会被大幅度透射,透射率随材料的电磁性质等参数而变化。这意味着在利用表面等离子体波发展光刻技术时,原则上不允许被传统方法无限散射。

在光刻机的发展中,我们仍然有两个自由的选择:走ASML的老路,还是另辟蹊径,通过新的原理急转直下?目前,我国正在做出两个自由选择。这款SP光刻机的成功开发,让我们看到了急转弯的可能性。只是原则上来说,这真的不是急转弯,但是当别人还在山路上盘旋的时候,我们试着做一个隧道.虽然还没挖到差不多,但黎明就在眼前。

(微信官方账号:)特别投稿,允许禁止发表。以下是发布通知。:电竞菠菜人首页。

本文来源:电竞菠菜人首页-www.twentyhudson.com

相关文章